画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
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基本情報
●大型ワークに対応 トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。 ●超薄形・軽量 XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。 ●中抜き構造 トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。 ●高剛性・高精度 モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。
価格情報
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企業情報
THKは、1972年に世界に先駆けて機械の直線運動部の「ころがり化」を 実現し、「直動システム」を開発しました。この「直動システム」の 開発は、機械の高精度化、高速化、省力化、さらには効率の向上を 生み出し、省エネを考慮した装置設計を可能にしました。 THKの技術のすべては、あらゆるメカニズムの“動き”に さらなる軽やかさと精確さを与えるために注がれ、 さまざまな革新を世界中にもたらしています。 【THKの主要製品領域】 １．機械要素部品分野： ・LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、電動アクチュエータ等の 開発・製造・販売 ２．メカトロ関連製品分野： ・精密XYステージ、リニアモータアクチュエータ等 ３．自動車部品分野： ・リンクボール、ロットエンド等 ４．ロボット分野： ・ピック＆プレースロボット「PPR」、搬送ロボット「SIGNAS」、 サービスロボット「SEED- Solutions 」（ディスプレイロボット、 検温ロボット含む）等 ５．免震分野： ・免震テーブルTSD、免震モジュールTGS