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フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理が可能
『EVADシリーズ』は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能な、 CVD、PECVD横型炉装置です。 シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布を制御し、 回転機構付き高品質ステンレス製チャンバーにより粉体へも 高温でのCVD/PECVDによる処理が可能。 PLASMICON制御システムにより全自動プロセス、データ保存に対応しています。 【特長】 ■FLOCONシリーズのフロー管理システムが搭載 ■PLUMEシリーズのICPプラズマソースを搭載可能 ■ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能 ■シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
厳しい環境下で必要とされる防衛用の様々なアプリケーションに応用可能！
当社では、CVD Ceramics社の化学気相成長法（CVD法）によって 製造している硫化亜鉛『CVD Zinc Sulfide(R)』および『Cleartran(R)』を 取り扱っています。 これらの材料は化学的に不活性で、吸湿性も無く、高密度なことから 機械加工性に優れており、円形、長方形などレンズ、プリズム、 ドーム形状への加工が容易に可能です。 【特長】 ■優れた機械強度と耐環境性 ■可視域（0.35nm～）に透明なクリアトラン ■低散乱 ■化学的に不活性 ■非吸湿性 ■簡易な機械加工性 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
耐腐食性などが要求される分野、高温になる金型、ステンレスのプレス加工に好適！
中日本炉工業株式会社にて行っている「CVD(三層)コーティング」の 特長について、ご紹介いたします。 耐焼付性、耐摩擦性、耐腐食性の要求される分野、高温になる金型、 ステンレスのプレス加工に好適。 また、TiCコーティング品においては、高硬度、耐摩擦性の要求される冷間鍛造、 プレス金型の寿命向上に貢献しています。 【検査装置(一部)】 ■マイクロビッカース硬さ試験機 ■ショア硬さ試験機 ロックウェル硬度計 ■倒立式金属顕微鏡 ■卓上顕微鏡＋エネルギー分散型X線分析装置 ■マイクロスコープ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
