『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』
MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプロセスを効率化
当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。 今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にて お立ち寄りいただいた方からの反響の大きかった製品をピックアップ。 プロセスの効率化につながる装置を紹介します。 【出展製品（一部）】 ＜圧電MEMS向け プラズマポーリング（分極処理）装置＞ 均一性に優れ、最大90％と高い極性効果を発揮 ＜圧電材料／磁性材料対応 イオンミリング装置＞ φ100mmのウェハ6枚を同時に処理が可能な機種も用意 ＜高出力・短パルス制御 光焼成装置＞ 照射光をμ秒で制御でき、下地にダメージレスで瞬間的に加熱
- 企業：株式会社日立ハイテク
- 価格：応相談
