1～4 item / All 4 items
RF電源(高周波電源)・マッチングボックスなら当社におまかせください
当社では、液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、 販売及び技術サービスの提供を行っております。 大幅な小型化と部品共通化による納期短縮に成功したTXシリーズをはじめ、 従来機と比較して高さ・重量共に1/5以下のTSシリーズなどを取り揃えております。 【ラインアップ(電源)】 ■AXシリーズ ■TXシリーズ ■TSシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
周波数測定、ピーク電力測定、平均電力測定など、さまざまな機能を備えています！
当社で取り扱っている「RF電源」についてご紹介いたします。 「RF(無線周波数)電力メータ」は、回路又はシステムの無線周波数信号の電力を 測定するために使用される電子機器の一種。無線通信システム、放送、レーダー、 その他の無線信号の伝送又は受信に関連する用途で一般的に使用されます。 アナログ又はデジタルのいずれかで、周波数測定、ピーク電力測定、 平均電力測定など、さまざまな機能を備えています。 【ラインアップ】 ■Keysight Technologies N1913B マイクロ波パワーメータ ■Keysight Technologies N1914B マイクロ波パワーメータ ■Keysight Technologies N1914A マイクロ波パワーメータ ■Keysight Technologies N1912A マイクロ波パワーメータ ■Keysight Technologies N1911A マイクロ波パワーメータ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバック／ULVAC】
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1330N/1350N ○MBX-1305N/1310N ○MBX-1330N/1350N 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます
【13.56MHｚ 1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。 ＝特長＝ ■コンパクト設計 ■高耐反射 ■高電力マージン ■ハンディーコンによる操作 ■安全設計 ■各種保護回路 ■高効率 カタログでは、特長の詳細情報や型式別の仕様がご覧頂けます。 ↓↓↓ 詳しくはカタログをダウンロードして頂き、お気軽にお問い合わせください。 ↓↓↓
