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SECS通信支援ツール×テクノシステム株式会社 - 企業1社の製品一覧

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PowerCIM SECS通信支援ツール

PowerCIM SECS通信支援ツール

半導体や液晶工場向けに製造・検査・搬送装置などのSECS(HSMS/SECSI)通信(SEMI規格準拠)を容易に構築するためのパッケージソフトウェアです。HSMS/SECS通信の細かな知識がなくても、通信パラメータ・通信メッセージ定義をユーザフレンドリな対話形式(GUI)にて設定できます。

  • テスタ
  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置

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