PowerCIM SECS通信支援ツール
半導体や液晶工場向けに製造・検査・搬送装置などのSECS(HSMS/SECSI)通信(SEMI規格準拠)を容易に構築するためのパッケージソフトウェアです。HSMS/SECS通信の細かな知識がなくても、通信パラメータ・通信メッセージ定義をユーザフレンドリな対話形式(GUI)にて設定できます。
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基本情報
半導体や液晶工場向けに製造・検査・搬送装置などのSECS(HSMS/SECSI)通信(SEMI規格準拠)を容易に構築するためのパッケージソフトウェアです。HSMS/SECS通信の細かな知識がなくても、通信パラメータ・通信メッセージ定義をユーザフレンドリな対話形式(GUI)にて設定できます。
価格情報
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納期
用途/実績例
半導体・液晶製造装置向けの開発多数
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