UV照射装置(波長) - 企業1社の製品一覧

LEDウェハーUV照射器

ウェハー用ダイシングテープの硬化用途、UV-LED採用で安定長寿命

LED採用で安定長寿命。 6インチ、8インチウェハー対応。 12インチウェハー用製作可能。 照射器交換可能(365 385 395 405nm等)。 0～１００％調光可能。 窒素置換(N2パージ)機構採用によりＵＶ硬化時の酸素阻害を軽減。

• 企業：株式会社アイテックシステム
• 価格：100万円 ~ 500万円

• ウエハー