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両面または片面へのプラズマ照射を最大500mm幅のロールツーロールで処理可能
『巻取式プラズマ照射装置』は、最大500mm幅のロールツーロールを 処理可能な照射装置です。 500mm幅以下のロールの受託加工も承っております。標準タイプの装置は 最大1000mm幅まで対応、その他の幅についてはご相談ください。 【特長】 ■最大500mm幅のロールツーロールを処理可能 ■両面または片面へのプラズマ照射を、ロールツーロールで処理 ■標準タイプの装置は最大1000mm幅まで対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
無料プラズマ照射テスト実施中！小さいサンプルでも素早く照射。展示会出展
『べルジャー型 真空プラズマ照射装置』は、 小さいサンプルでも素早くプラズマ照射が可能な装置です。 独自の電源と電極を用い、優れたプラズマ照射効果を発揮することで、 長期にわたって経時変化がない表面処理を実現します。 透明ガラスチャンバーで、プラズマ処理中の内部の細かな変化も観察可能。 サンプルに合ったプラズマ照射条件を見出し、自社独自のノウハウを構築できます。 【用途例】 ■炭素繊維複合体の強度向上 ■シャーレの濡れ性改善 ■低侵襲性細胞培養 ■フッ素系樹脂表面への薬品の濡れ性改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ★無料プラズマ照射テスト実施中 初回3条件までのお試し照射処理を行っています。まずは効果を実感してください。 板状のサンプルの処理も可能です。
細胞と接する面を細胞にやさしく表面改質！親水・疎水基の密度コントロール
『真空プラズマ照射装置』は、細胞と接する面を細胞にやさしく 表面改質する装置です。樹脂表面を親水化にも撥水化にも、自由自在に改質でき 最適な条件で処理が可能です。 様々な材料に対し、目的に最適なプラズマ照射条件を見出します。 また、受託処理も承っております。 【特長】 ■強力で均一な照射が可能で処理ムラがない ■エッチング効果が少なく、材料への物理的ダメージがほとんどない ■高密度の官能基が生成でき、接着剤を用いない直接接合が可能 ■官能基の退行が極めて少ない ■ガス使用量が極めて少ない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
硬化実験用から生産ライン用まで対応する紫外線照射装置！ワークサイズに応じた発光長を持つランプを搭載し、経済性と短納期化を実現！
硬化実験用から生産ライン用まで対応する紫外線照射装置です。ワークサイズに応じた発光長を持つランプを搭載し、経済性と短納期化を実現したコンベア付照射装置です。ソニーやセイコーエプソンなど、多くの大手企業に納入実績が多数あります。 【特長】 ■経済性と短納期化をはかった汎用シリーズ。 ■硬化実験用から、生産用まで幅広くご利用頂けます。 ■調光機能つき。（60％） ■小形で、省スペースとなります。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい
幅広い産業への納入実績あり！ヒーターユニット設計からプロセス改善までお任せください
エクセリタスノーブルライトジャパン（旧ヘレウスノーブルライトジャパン）では、 自動車をはじめ、建装材やテキスタイル、食品まで、さまざまな産業界に 『赤外線加熱・乾燥プロセスソリューション』を提案しています。 お客さまとの打ち合わせや実験を重ね、お客様が抱えておられる加熱・乾燥にかかわる課題の 解決策のご提案から、照射試験、ヒーターユニット設計などを行っています。 【アプリケーション】 ■自動車 ■樹脂シート ■CFRP成型 ■熱溶着 ■金属 ■金型予備加熱 ■ガラス ■真空加熱 ■印刷 ■繊維 ■プリンテッドエレクトロニクス ■塗装 ■木工 ■食品など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
紫外線の発光効率が高く、照度が高い！だからUV硬化後の仕上がり品質がちがう！秒単位で瞬時点灯し再点灯が可能！
エクセリタスノーブルライト（旧ヘレウスノーブルライト）の「無電極UVランプ」には、 電子レンジに使用されているものと同じマイクロ波（2450MHz）の エネルギーが利用されています。 電極がないためランプバルブの両端が黒変することがなく、光出力安定性、 低熱性、長寿命など多くの利点をもたらします。 また、光源は並べて広幅システムとして構築することが可能です。 【特長】 ■高出力 ■出力安定性 ■低熱性 ■長寿命 ■各種UV波長 ■瞬時点灯 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
赤外線加熱・乾燥プロセスにかかわる「知っておきたいシリーズ」第一弾！生産工程に欠かせない加熱について、図付きで解説！
『赤外線加熱技術シリーズ』は、真空紫外から中波長赤外線までの波長領域を網羅する 工業用特殊光源メーカーであるエクセリタスノーブルライト（旧ヘレウスノーブルライト）が、 様々な加熱の種類について解説している技術資料です。 生産工程に欠かせない加熱について、図付きで解説いたします。 【掲載内容（一部抜粋）】 ■直接加熱とは ■伝導加熱とは ■対流加熱とは など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電気式加熱・乾燥システムを生産現場に活かし、脱炭素化に貢献！ 照射効率95％で生産性が向上
近年、生産現場での脱炭素化は取り組むべき重要な課題になっています。 エクセリタスの赤外線ヒーターには金反射膜が塗布されており、 ヒーターから放射される赤外線の照射効率は95％を達成しています。 この照射効率は赤外線ヒーターを使用するうえでプロセス効率に大きく影響する 重要な要因となっています。 「光源から放射された赤外光をどれだけ目的物に直接照射できるか」が、重要なポイントです。 この達成率によって高い加熱効率を得られ、省エネに貢献することが特徴です。 また、生産現場でお使いいただくにあたり、電気式ヒーターゆえの安全性と優れた応答性能、 エクセリタス独自の石英製ツインチューブ形状で機械強度に優れていることも特徴です。 ガラス管には、高純度の透明石英ガラスを使用しているため、クリーン加熱に好適です。 他にも下記のようなメリットがあります。 ■赤外線の透過率が高い ■有効長内での熱ムラがない ■温風との併用も可能 ■既存の温風炉への改造で簡単に効率アップ ■省スペース化が可能 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。
コンバーティングでの事例や利点をご紹介！生産性を向上するためのUV（紫外線）硬化プロセスや赤外線加熱・乾燥プロセスとは？
予熱、乾燥、ラミネート、エンボス加工などのコンバーティングでは、 様々な分野で赤外線の特長がうまく生かされています。 プラスチックやフィルム、紙、不織布などのウェブ素材は、 コーティングやラミネート、エンボス加工などの加熱、乾燥に 熱を必要とします。 エクセリタスの赤外線ヒーターは高出力で、材料を高速に、均一に、 そして適切に加熱することができます。 また、ワイドウェブ・コンバーティングやシリコン加工分野のメーカーやコーターは、 優れたUV硬化技術を用いており、それにより、高生産性、機能特性、熱に弱い基材の コーティングを実現しています。 エクセリタス（旧ヘレウスノーブルライト）は、真空紫外から中波長赤外線までの 波長領域の光を網羅する工業用特殊光源メーカーです。 生産性を向上する紫外線硬化や赤外線加熱は、多くの業界で導入されています。 【導入事例 掲載内容】 ■赤外線によるエンボス加工とラミネート加工 ■赤外線によるコーティングと乾燥 ■赤外線によるテキスタイルの乾燥 ■シリコーン離型紙や転写紙の紫外線硬化 ■ウィンドウフィルムの紫外線硬化
処理水量の増加要求応える水殺菌装置に求められる紫外線（UV)ランプとは？
地球温暖化による気温上昇などの気候変動や世界の人口が増加するなど、 私たちの身の回りには、水資源にかかわる多くの問題が発生しています。 日本では高品質な水処理装置が開発、導入されていますが、将来、水需要の 高まりに対する要求は厳しさを増すと考えられています。 そこで、本資料は、水殺菌装置に搭載されている紫外線（UV）ランプに どのようなことが求められるかを解説しています。 【掲載内容（一部抜粋）】 ■将来の水処理増加を満たすランプとは ■紫外線殺菌とは ■水処理に使われているUVランプの種類と特徴とは など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
塗装業界において使用されるUV LED 硬化テクノロジーの応用例
UV LED 硬化テクノロジーは、塗装業界においても使用されています。 その理由は、安価な運用費用、ソリッドステート装置による高度なシステム性能、 安全な職場環境を構築できるメリット、そして危険物質が発生しないためです。 床、キャビネット、ドアなどの木材およびビニールをはじめ、自動車や 楽器などの塗装や、電子製品、建具、タイルなど工業製品への塗装も可能です。 【UV塗装分野への応用例】 ■木材 ■ビニール ■自動車 ■楽器 ■建具 ■その他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パワフル、静かで安全な硬化！生産性、収益性の向上につながります
『WhisperCure テクノロジー』は、特許を取得したフォセオン独自の革新的 技術を活用することで、比類のない魅力的なソリューションを提供します。 従来に比べ、わずかな騒音しか発生しない高出力の空冷式ランプを提供する ことにより、安全な労働環境の実現に貢献します。 また、フォセオンユニットのサイズを維持しながらUV出力の増加を実現。 これにより機械メーカーは、従来は水冷が必要であった大型で高出力の 空冷式システムを追加冷却装置なしで製造できるようになります。 【特長】 ■ピーク照度の最大化による高性能アプリケーション ■LED硬化システムの騒音を、要求される制限値以下に抑え法規制を順守 ■オペレーター同士のコミュニケーション改善による生産性と収益性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
医薬品、化粧品の光毒性試験は太陽光照射装置が最適！
自然太陽光を限りなく忠実に再現 光毒性試験に最適な太陽光照射装置 【特徴】 ○放射光に含まれるUV-Aの照射量は2.5mw/cm2以上 ○赤外線による熱は、ほぼ完全にカット ○照度調整範囲内において、無段階で照度調整が可能 ○ステージの高さの変更で、照射距離の調整が可能 ○入力電圧:3φ200V 50/60Hz ○入力電流：15A ○有効照射範囲：350×350mm ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
波長800〜1100nm対応 IR透過撮影に最適な近赤外線照射装置
ハロゲンランプの近赤外線だけを 照射する近赤外線装置 【特徴】 ○近赤外線反射ミラー付ハロゲンランプと IR80フィルター(800nm以上透過)を内蔵 可視光を出さずに近赤外線(800〜1100nm)を照射 ○定格入力電圧：AC100V〜120V／200V〜240V ○定格入力周波数：50/60Hz ○消費電力：130W ○ランプ形式 JCR12V100W10H/IR 近赤外線反射ミラー付ハロゲンランプ ○点灯方式：直流点灯方式 その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください。
UV LED 照射器
高出力UV−LEDを採用し、高品質の集光レンズにより、高い光出力が得られます。また、コントローラ部は、応用現場の様々なケースに対応できるよう、キーボード入力またはUSB通信により、照射方式を自在にプログラム化できます。
コンベア速度やランプ強度分布・交換時期の管理に使用することにより、お客様の歩留まり向上が図れます
M1026VR-T2Tは、硬化(キュアリング)、電気・電子部品用のシーリングや接着処理、プリント基板の印刷・乾燥・実装ライン、各種産業における殺菌工程等で使用されるUV照射装置のランプ強度管理に最適です。 ※各種受光部・表示部はそれぞれ別売となっておりますので、用途に合わせて受光部を選択し表示部と組み合わせてお使い下さい。 受光部は目的の波長に合わせて4タイプを用意（ご購入時に選択ください。）4タイプの受光部を自動認識する機能搭載。
●UVA/UVB ●2レンジ切替機能 ●ローバッテリー表示 ●オーバーレンジ表示
●紫外線波長領域は290nm～390nmをカバー(UVA領域とUVB領域) ●Loレンジで1,999μW/cm2以下を高精度測定 ●センサは使いやすい分離型
瞬時の硬化を実現！パルス発光による環境配慮型高出力紫外線照射装置！自動製造ラインに組み込みも可能です！
『UVflasher TX2000』は、紫外線を強力なパルス発光により照射し、 連続発光方式と比べて熱の発生が少なく、遥かに短い時間で 樹脂の硬化を実現した紫外線照射装置です。 キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、 発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。 専用ソフトが標準で付属されているので、導入後直ちに使用できます。 当製品は、単体での使用以外に、自動製造ラインに組み込むことが容易ですので、 生産性の向上に寄与します。 【特長】 ■キセノンフラッシュランプを使った高効率な紫外線照射装置 ■高出力の紫外光を短時間に照射し、瞬時の硬化を実現 ■被照射体の熱変形や熱変質のダメージを抑制 ■他方式の光源に比べて大幅な消費電力の低減に貢献 ■電源投入後の立ち上がりが早く、即時に稼動が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
裏面アライメントがないので低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に最適な装置を実現しました。
『AMA6000』は、自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。 ASAPのマスクアライナーはマスクと完全非接触でウェハとのギャップ管理を行います。 非接触もできますが、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 低価格、コンパクト、簡単操作を実現しました。 【特長】 ■完全非接触での平行出し&露光 ■省スペース&簡単メンテナンス ■オートアライメント ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！
株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 少ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマスクアライナー」など、 優れたローコストな露光装置を多数取り揃えております。 ＊詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ESシリーズのローコスト片面アライナー
お客様の仕様やご予算にあわせて最適なマスクアライナーをビルドアップ。各種ユニットやオプションの中から必要なものだけを選択することで無駄なコストを抑えた使い易い装置が構成できます。ご要望を伺い、最適な仕様をご提案致します。 またほとんどのユニットが後から追加・交換できますので将来のグレードアップや初期導入コスト削減も可能です。2タイプのUV光源装置から選択できます。（露光サイズ各種）φ1～4インチ試料対応（角形試料等カスタム形状にも対応）し、□2～5インチマスク対応です。また、CCDカメラ、実体、接眼タイプ等各種観察顕微鏡から選択できます。コンパクトでローコストです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ローコストでフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナー
実験・研究用マスクアライナー ES410は、ローコストながらフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。フルマニュアル機で各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などにご使用頂けます。ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニットやオプションを選択することで、さらに目的にフィットした装置にセットアップ可能です。ほとんどのユニットが後から追加・変更できますので将来のグレードアップにも対応致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
コンパクト微細露光スタンダード機。4/6/8インチ標準マスクアライナー
高性能マスクアライナー LAシリーズは、4/6/8インチ標準マスクアライナーでコンパクトな微細露光のスタンダード機です。半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができる露光装置です。専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載し、対物レンズ間隔最小18mmで小型試料のアライメントまで可能です。ワイプ装置による2視野一括モニター表示可能で、Z軸はエアー圧駆動＋ギャップ微調整レバー方式です。ハードコンタクトソフトコンタクト・プロキシミティー露光に対応。平行機構は信頼性の高い球面軸受を採用したコンパクトで高い汎用性です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ウェハ表裏同時露光。セミオート動作で中ロット生産に対応！
両面同時露光マスクアライナー BS320は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利くモデルです。各種ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。二次露光以降は片面露光となりますので別途「試料台」が必要になります。二次露光以降も両面同時露光可能なBS320uもラインアップしています。セミオート動作で中ロット生産に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応
両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。 一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利き、ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。 二次露光以降は片面露光となるので別途「試料台」が必要です。 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最大φ4インチウェハ対応『BS425』 ■最大φ6インチウェハ対応『BS620』 ■コンパクト設計 ■1次露光時はフットスイッチによりセミオート運転が可能 ■手置き式のため規格外形状試料への対応が容易 ■ウェハ位置決めガイド搭載（オプション） 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
UV-Stick(TM)は、３６０度に照射可能な今までにないUV-LED照射モジュールです【特許出願中】
UV-Stick(TM)は光源にUV-LEDを使用していますが、ランプのように360度に発光することができるUV-LED光源モジュールです。また、発光部の発熱もなく、広範囲に長時間照射することができます。発光部に石英ガラスを使用しているので、深紫外LEDを実装することにより、300nm以下の深紫外(UVC)領域も照射することができる新しいタイプのUV-LED光源モジュールです。 【特徴】 ・360度に光を照射：広範囲の照射に最適 ・長時間照射が可能：少量のLEDのため、光源の発熱による熱の影響少ない。 【用途】 ・殺菌用途、農作物の病害虫の防除、樹脂の硬化/接着、光化学反応など…
両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。
平行光露光装置のラインナップのご案内です。
均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
