ローコストでフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナー
実験・研究用マスクアライナー ES410は、ローコストながらフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。フルマニュアル機で各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などにご使用頂けます。ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニットやオプションを選択することで、さらに目的にフィットした装置にセットアップ可能です。ほとんどのユニットが後から追加・変更できますので将来のグレードアップにも対応致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○ローコストでフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナー ○フルマニュアル機 →各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などに使用可能 ○ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性 ○各種ユニットやオプションを選択可能 ○目的にフィットした装置にセットアップ可能 ○ほとんどのユニットが後から追加・変更可能 →将来のグレードアップにも対応 【仕様】 ○形式：等倍片面露光式マスクアライメント装置 ○露光方式：1・1等倍露光 コンタクトおよびプロキシミティ ○適応試料：最大φ4インチ 厚さ3mm以内 →各サイズとも試料台の変更により対応可能 ○固定方式：真空吸着式 ○適応マスク：最大□5インチ 厚さ0．06または0．09インチ →各サイズともマスクホルダの変更により対応可能 ○固定方式：真空吸着式 ○マスクホルダ：ヒンジ開閉式（メカロック付き） ○アライメント：マスク固定、ウェハXYZ∂軸ステージ移動 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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