ESシリーズのローコスト片面アライナー
お客様の仕様やご予算にあわせて最適なマスクアライナーをビルドアップ。各種ユニットやオプションの中から必要なものだけを選択することで無駄なコストを抑えた使い易い装置が構成できます。ご要望を伺い、最適な仕様をご提案致します。 またほとんどのユニットが後から追加・交換できますので将来のグレードアップや初期導入コスト削減も可能です。2タイプのUV光源装置から選択できます。（露光サイズ各種）φ1～4インチ試料対応（角形試料等カスタム形状にも対応）し、□2～5インチマスク対応です。また、CCDカメラ、実体、接眼タイプ等各種観察顕微鏡から選択できます。コンパクトでローコストです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○各種ユニットやオプションの中から必要なものだけを選択可能 ○無駄なコストを抑えた使い易い装置が構成できる ○ほとんどのユニットが後から追加・交換可能 ○将来のグレードアップや初期導入コスト削減も可能 ○2タイプのUV光源装置から選択（露光サイズ各種） ○φ1～4インチ試料対応（角形試料等カスタム形状にも対応） ○□2～5インチマスク対応 ○CCDカメラ、実体、接眼タイプ等各種観察顕微鏡から選択可能 ○コンパクト・ローコスト ○選択可能な主なユニット（0からの設計製作も可能） →ベース（中型・大型） →アライメントステージ →マスク架台 →マスクホルダ →試料台 →顕微鏡 →UV光源装置 →オプション（積算光量制御、試料位置決めガイド、測長器） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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