コンパクト微細露光スタンダード機。4/6/8インチ標準マスクアライナー
高性能マスクアライナー LAシリーズは、4/6/8インチ標準マスクアライナーでコンパクトな微細露光のスタンダード機です。半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができる露光装置です。専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載し、対物レンズ間隔最小18mmで小型試料のアライメントまで可能です。ワイプ装置による2視野一括モニター表示可能で、Z軸はエアー圧駆動＋ギャップ微調整レバー方式です。ハードコンタクトソフトコンタクト・プロキシミティー露光に対応。平行機構は信頼性の高い球面軸受を採用したコンパクトで高い汎用性です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○4/6/8インチ標準マスクアライナー ○コンパクトな微細露光のスタンダード機 ○微細度の高いパターン露光ができる露光装置 →半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野に ○専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載 ○対物レンズ間隔最小18mmで小型試料のアライメントまで可能 ○ワイプ装置による2視野一括モニター表示可能 ○Z軸はエアー圧駆動＋ギャップ微調整レバー方式 ○ハードコンタクトソフトコンタクト・プロキシミティー露光に対応 ○平行機構は信頼性の高い球面軸受を採用 ○コンパクトで高い汎用性 【ラインナップ】 ○φ4マスクアライナー：LA410 ○φ6マスクアライナー：LA610 ○φ8マスクアライナー：LA810 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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