低価格Ｗｅｔ処理装置
○2インチ等小口径にも対応○ 1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！
～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。 【特徴】 ・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上） ・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り） ・コンパクトな装置サイズ 〈処理本体〉 幅1100mm/ 奥行800mm/ 高さ1900mm 〈薬液供給本体〉 幅500mm/ 奥行800mm/ 高さ1800mm ・驚きの低価格 ～詳細はカタログダウンロードもしくはお問い合わせください～
- 企業：株式会社ＭＴＫ
- 価格：応相談
