○2インチ等小口径にも対応○ 1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！
～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。 【特徴】 ・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上） ・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り） ・コンパクトな装置サイズ 〈処理本体〉 幅1100mm/ 奥行800mm/ 高さ1900mm 〈薬液供給本体〉 幅500mm/ 奥行800mm/ 高さ1800mm ・驚きの低価格 ～詳細はカタログダウンロードもしくはお問い合わせください～
この製品へのお問い合わせ
基本情報
※□※■セミコンジャパン出展！！■※□※ 実機に触れられる機会です。ぜひブースにお立ち寄りください。 会期：2014年12月3日(水)–5日(金) 場所：東京ビッグサイト 東展示棟・会議棟 ブースＮｏ：5031
価格帯
納期
用途／実績例
半導体ウエハ（SiC，GaN，シリコン，サファイア等），MEMS，各種センサー
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社MTKは化合物ウエハ、Siウエハの洗浄装置、エッチング装置を高性能・低コストで貴社へ提案いたします。 ●SiC,LT,LN,GaAs,GaN.Siウエハ洗浄で多くの評価をいただいております。 ●海外、特に中国とのビジネスに経験豊富。ビジネスの架け橋となります。 ●化合物半導体基板の洗浄、ウエットエッチングの事なら株式会社MTKにお任せください。 北京TanKeBlue社の日本代理店をしており、SiCウエハ、インゴット販売も多くの企業様よりお引き合いいただいております。 また、次世代半導体材料のGaN基盤も取扱いしております。 貴社の細かなご要望にもお応えいたします。誠意を込めて対応させていただきます。
