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主鎖骨格が類似のPET、PENフィルムの線膨張率の違いとその差異を生むメカニズムを解明した事例をご紹介
異種材料ではあるが類似分⼦構造を有する場合、その相溶性や 特性の類似により複合製品の開発発展と拡⼤に期待が持てます 。 しかし、類似ではあるが落とし⽳も存在し、例えば、線膨張率の 違いによりその界⾯に歪とズレが生じ、そして剥離に至るケースも 少なくありません。 本資料では、主鎖骨格が類似のPET、PENフィルムの線膨張率の違いと その差異を生むメカニズムを解明した事例をご紹介します。 【掲載内容】 ■素材PET PENについて ■XPS分析（結合状態の比較） ■TMA分析（線膨張率の比較） ■データ解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XPS：Ｘ線光電子分光法
XPS分析では評価に使用する光電子ピーク*以外に、他軌道からの光電子ピークや、X線励起のAugerピーク等も検出されます。元素の組み合わせによっては、これらのサブピークが目的のピークに重なって評価を妨害することがあります。 *通常、最外殻に近い内殻準位から放出された、強度の高い光電子ピークを使用します。 XPS分析の定量計算では、このような妨害ピークについて、主として以下の2方法による除去計算を行っています。 1.感度係数比を用いた除去 2.波形分離を用いた除去
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを算出することが可能です。
試料の切断加工から変色・腐食の原因調査までワンストップで対応します
様々な分野で使用されるSUS等の金属製配管の内壁は、流入する気体や液体と反応して変色や腐食 が発生し、設備の機能低下の原因となります。変色・腐食の生じやすい位置やその原因を把握すること は、設備保全において重要な課題です。MSTではこのような評価を、試料の切断加工から分析まで一貫 してお引き受けします。本資料では真空装置に用いられていたSUS製配管の内壁に見られた通常部位 と変色部位について、XPS分析を行った事例を紹介します。
さまざまな酸化チタンの酸化状態の比較評価を行った例もご紹介！
当社で行う「Ti酸化物(TiOx)の酸化状態評価」についてご紹介いたします。 Ti酸化物のXPS分析では、内殻準位や価電子帯(Valence)スペクトルのピーク位置・ スペクトル形状・サテライトの位置から酸化状態を調べることが可能です。 添付のPDF資料にて、さまざまな酸化チタンの酸化状態の比較評価を行った 例をご紹介しておりますので、ぜひご覧ください。 【特長】 ■内殻準位や価電子帯(Valence)スペクトルのピーク位置・スペクトル形状・ サテライトの位置から酸化状態を調べることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
