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XYステージ(小型) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

XYステージの製品一覧

16～30 件を表示 ／ 全 33 件

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NM_真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム

NM_真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム

超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。

  • その他モータ

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ペルチェコントローラドライバ『TDU-5000A(R/G)』

ペルチェコントローラドライバ『TDU-5000A(R/G)』

最大駆動電流10Aを実現！コンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流を一体化

『TDU-5000A(R/G)シリーズ』は、DINサイズの1chデジタル ペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10Aを実現しています。 最大150Wまでのペルチェ素子を駆動できます。 また制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ)。 光通信やバイオなどの分野で活躍します。 標準でパソコンとのインターフェイスやパラレルインターフェースを 装備していますので、様々なシステムに対応することができます。 【特長】 ■DINサイズ(96mm角)のボディーに温度変換部・ 　PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ■小型ながら最大駆動電流10Aを実現 ■制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ■制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ・サーミスタ使用時) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • ＰＬＣ
  • その他FA機器
  • 電圧計

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ペルチェコントローラドライバTDC-2000・4000Gシリーズ

ペルチェコントローラドライバTDC-2000・4000Gシリーズ

高精度な制御！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ

『TDC-2000/4000Gシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTDC-2000/4000Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのTDCシリーズはペルチェの数（2CH、4CH）、電源電圧(10V、15V、24V)によって6機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、お使いいただけます。 また、通信機能として、RS232C を標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 　・5/10000℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、 　　2/1000℃の高精度温度制御を実現 　・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ○多機能 　・PID定数設定を省くためのオートチューニング機能を 　　標準装備、異常検出機能も多数装備 ○汎用性 　・白金測温抵抗体とサーミスタが使え、メーカーのデータ 　　により校正が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • コントローラ

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ペルチェコントローラドライバ

ペルチェコントローラドライバ

2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。

ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。

  • 温湿度制御
  • その他ヒータ

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小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L

小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L

24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ

E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30～ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース：USB・SPI・RS-232、0～＋10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • csm_E-709.1C1L_dimensions_626641088c.jpg
  • コントローラ
  • サーボ
  • アンプ

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精密XYステージ

精密XYステージ

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！

当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

  • その他半導体製造装置

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PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』

PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ

『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）

リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他FA機器

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総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他FA機器

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AT2自動XYステージ＜圧縮、引張、曲げの自動試験＞

AT2自動XYステージ＜圧縮、引張、曲げの自動試験＞

デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション

『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、 　能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を 　減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 試験機器・装置

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フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製作もOK

当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。 【真空対応システムの特徴】 創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に 真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。 ※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。 　ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。 　また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。

  • その他FA機器

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ペルチェコントローラドライバTDC-2000・4000Rシリーズ

ペルチェコントローラドライバTDC-2000・4000Rシリーズ

高度制御を実現！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ

『TDC-2000/4000Rシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTD-2000/4000誌リーズを基に、より高精度な1/100℃の制御を実現しました。 さらに、使いやすいインターフェースに加え、オーバーシュート抑制制御機能と温度勾配制御機能を搭載しました。 【特徴】 ○小型・高精度 　・1/1000℃の計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により1/100℃ 　　の高精度温度制御を実現 ○多機能 　・煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング機能を 　　標準装備、また異常検出機能も多数装備 ○汎用性 　・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • コントローラ

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ペルチェコントローラドライバ　TDC-2000・4000シリーズ

ペルチェコントローラドライバ　TDC-2000・4000シリーズ

温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体！高精度なコントローラ

『TDC-2000/4000 シリーズ』は、ペルチェ素子用の2/4ch デジタル温度 コントローラで、温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体となったコントローラドライバです。 また、パソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆる システムに対応することができます。 ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用していますので高効率で 高精度です。 【特徴】 ○小型・高精度・ローコスト 　・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用し高精度 　・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○高速 　・ペルチェの温度コントロール専用に開発 　・制御サイクルが5 回/秒と高速 ○汎用性 　・新駆動回路の採用により5～24V と広範囲なペルチェ電圧に対応 　・パソコンとのインターフェースを利用し種々の温調システムが構築可能 ○温度センサの選択 　・パネルキーにてP t 1 0 0 , サーミスタが選択可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • コントローラ

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NM_【真空にも対応】精密位置決めステージシステム

NM_【真空にも対応】精密位置決めステージシステム

高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。

  • その他モータ

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XＹθステージ　NAF3シリーズ

XＹθステージ　NAF3シリーズ

電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ

スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。

  • アクチュエーター

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