更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、 姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
最大407mmの広範囲位置決めと装置連携により、検査・加工工程のタクトと再現性を両立
■Performance 1：サーボモータとボールねじステージ構成 ■Performance 2：高精度向け、サーボモータとボールねじ駆動ステージ構成 ■Performance 3：高速・高精度向け、リニアモーターステージ構成 Z軸は、保持ブレーキ付きタイプで対応します。 ACSベースG-901コントローラはモーション＋I/O＋安全機能を統合し、装置PLCとのEtherCAT(R)接続を即完了。 レーザー加工、超短パルスレーザー加工、テストや精密検査、電子機器製造に最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現！
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で 使用用途が広がります。 テーブル面は70mm×70mm、案内方式は精密クロスローラガイドと なっております。 【ST07A-S1W 仕様（一部）】 ■センター穴：φ18mm（最小有効透過穴径φ13mm） ■ワークディスタンス：70mm ■回転中心変位量：φ0.05mm/±3° ■水平耐荷重：49N（5kgf） ■モーメント荷重：0.71arcsec/N・cm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション
『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、 能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を 減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速・高精度な実験をサポートするXYステージ
研究開発分野における実験では、精密な位置決めと安定した動作が不可欠です。特に、微細な構造の観察や、精密な加工を行う際には、位置精度の高いステージが求められます。位置精度の低いステージでは、実験結果の再現性が損なわれたり、正確なデータが得られない可能性があります。V-P01は、リニアモータ駆動により、高精度な位置決めと安定した動作を実現し、研究開発における実験の質を向上させます。 【活用シーン】 ・顕微鏡観察 ・精密加工 ・AOI検査 ・スキャニング 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる実験精度の向上 ・高速・高加速度による実験効率の向上 ・安定した動作による再現性の確保
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
光学業界では、レンズやミラーなどの精密な位置調整が、システムの性能を左右します。特に、微小な調整が求められる場面では、高精度な位置決め能力が不可欠です。調整の精度が低いと、光軸のずれや焦点のズレが生じ、システムの性能低下につながります。U-723は、小型ながら22mmの動作量と10nmの分解能を実現し、光学系の精密な位置調整を可能にします。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズ調整 ・レーザー加工機の光軸調整 ・光学測定器のサンプル位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる光学性能の向上 ・省スペース化による装置全体の小型化 ・電源OFF時の位置保持による安全性の向上
高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現
半導体業界のウェーハ検査では、微細な欠陥を高精度に検出することが求められます。検査の精度は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、ウェーハの大型化と高密度化が進む中、より高速かつ正確な位置決めが不可欠です。V-P01は、リニアモータ駆動により、高精度な位置決めと高速スキャンを実現し、ウェーハ検査の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハの自動光学検査（AOI） ・ウェーハ表面の精密スキャニング ・微細パターンの位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・歩留まりの改善
校正作業の効率化と精度向上に貢献するXYステージ
計測機器業界における校正作業では、高精度な位置決めが不可欠です。測定器の正確な校正には、微小な動きを正確に制御できるステージが求められます。位置精度の低いステージでは、校正結果に誤差が生じ、製品の品質に影響を与える可能性があります。V-P01は、リニアモータ駆動により、±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションを実現し、校正作業の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定器の校正 ・センサのキャリブレーション ・検査装置の位置決め 【導入の効果】 ・校正作業の効率化 ・校正精度の向上 ・製品品質の安定化
レーザー加工の切断工程に。高精度位置決めと高速移動を実現
レーザー加工業界では、精密な切断が求められます。特に、材料の無駄を減らし、高品質な製品を効率的に製造するためには、レーザーヘッドの位置決め精度と移動速度が重要です。位置精度の低いステージでは、切断面の品質が低下し、歩留まりが悪化する可能性があります。また、移動速度が遅いと、生産性が低下し、コスト増につながります。V-P01は、リニアモータ駆動により、高精度な位置決めと高速移動を実現し、レーザー加工における切断工程の課題を解決します。 【活用シーン】 ・レーザーカッター ・レーザーマーキング ・レーザー彫刻 【導入の効果】 ・高精度な切断による製品品質の向上 ・高速移動による生産性の向上 ・材料の無駄を削減し、コスト削減に貢献
レンズ調整の精度と効率を向上させるXYステージ
光学業界のレンズ調整においては、高精度な位置決めと安定性が求められます。レンズの性能を最大限に引き出すためには、ミクロン単位での微調整が不可欠です。位置ずれは、画像の歪みや解像度の低下を引き起こし、製品の品質に直接影響します。V-P01は、リニアモータ駆動により、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・レンズ研磨・組立工程 ・光学測定器 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・高速・高加速度による作業効率アップ ・安定した動作による歩留まり向上
