66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 センター開口部は、66×66mm。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ・ストローク～200μm ・サブナノメートルの分解能 ・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・センター開口部 66 x 66mm ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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納期
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用途／実績例
応用例 ・メトロロジー ・干渉計 ・光学 ・リソグラフィ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
