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NM_モータHRシリーズ搭載、標準ステージ

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最終更新日:2024年06月14日

株式会社工苑
株式会社工苑
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超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。

    その他モータ
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NM_モータHRシリーズ搭載、標準ステージ

goni1.jpg
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  • 関連リンク - https://www.koenn.co.jp/nano/stage.html

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基本情報

Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ)で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単に取り付けすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。 標準ステージは下記の分類があります。 ・FBリニアステージ ・FRロータリーステージ ・FGゴニオステージ ・FZくさび形ステージ これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。 また、標準的ステージに適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。お気軽にご相談ください。

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用途/実績例

【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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HRモータに最適化した標準ステージ

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超音波モータ『HRシリーズ』

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『AB』ドライバシリーズ

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【ナノモーション】クリーンで安定した1nm モーションシステム

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この製品に関するニュース(3)

SEMICON_2023_KOENN

【SEMICON Japan 2023】出展のお知らせ【工苑】

  • セミナー・イベント

工苑は、東京ビッグサイトにて開催される「 SEMICON Japan 2023」に出展いたします。 当展示会では、Nanomotion社製品である高速移動と精密位置決めを両立できる超音波モータと、それを利用したステージシステムを展示、デモを行います。 半導体製造や検査で装置に組み込まれるステージに最適です。 また超音波モータだけでなく、開発期間短縮にもなるステージの設計・製造のご相談も可能です。 半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の納入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)と、それを搭載したステージ製品群をぜひ手に取ってください。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■イオンビーム用4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ(デモ有) ご来場予定の方は下記リンク先より事前登録をお願い致します。

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JASIS2023_KOENN

【2023年9月6日(水)~9月8日(金)】「JASIS 2023 」出展のお知らせ

  • セミナー・イベント

当社は、2023年9月6日(水)~9月8日(金)に幕張メッセにて開催される 「 JASIS 2023 最先端科学・分析システム & ソリューション展」に出展いたします。 当展示会では、超音波モータ駆動の高精度位置決めステージをメインにご紹介いたします。 製造元のナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)は、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の納入実績があります。 また国産の光学用シャッターもデモ展示いたします。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE モータ」 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモあり) ■光学用シャッター(デモあり) 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

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SEMICON_2022_KOENN

【2022年12月14日(水)~12月16日(金)】「SEMICON Japan 2022 」に出展のお知らせ

  • セミナー・イベント

当社は、2022年12月14日(水)~12月16日(金)に東京ビッグサイトにて開催される 「 SEMICON Japan 2022」に出展いたします。 当展示会では、1nmの精度を求められる機器向けにSEモータを出展します。また今回はNanomotion社の技術担当者がブースで説明いたします。 半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の納入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)と、それを搭載したステージ製品群をぜひ手に取ってください。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE モータ」(デモ有) ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

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株式会社工苑

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産業用電気機器

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サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。

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