1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応
FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
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基本情報
〇機械的特性（例：FRS060360） ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト モータ：HR2モータ ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ ケーブル⾧：3m MTBF（平均故障時間）：30,000Hr ステージ質量：581g 可動質量：268g 可動慣性質量：0.102gr-m² RoHS：適合 真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで 超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで 〇性能仕様 移動範囲（mm）：nx 360 エンコーダー分解能：標準 5arc sec.（オプション 0.5arc sec.） 双方向繰り返し精度：標準 50arc sec.（オプション 5arc sec.） 精度標準： 10arc sec.（オプション 5arc sec.）
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納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。
