小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
