アトムソース×アドキャップバキュームテクノロジー株式会社 - 企業1社の製品一覧

ECRアトムソース

低圧動作のECR型アトムソース

ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。

• 企業：アドキャップバキュームテクノロジー株式会社
• 価格：応相談

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置