低圧動作のECR型アトムソース
ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。
価格情報
-
納期
用途／実績例
試験研究用途の製品です。 酸化膜、窒化膜成膜アシスト 化学的終端面の形成や酸化、還元作用の応用、基板表面での反応促進などへの応用
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
オリジナルな実験機器を考案しても、なかなか製作者に意図が伝わらないなどの経験はありませんか？真空を使う実験では、「真空」は本質的な実験系の場を提供するに過ぎない場合が多いと思います。しかし、「真空」を利用する為に多くの制約が生じ、系の考案には様々な工夫が必要となります。サイエンスの要求をエンジニアリングの手法で提案し、実際に製作して系を確立するという完結したサービス体制が特徴です。