インテグレータレンズ
プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています！
「インテグレータレンズ」は、照射面への照度の均一性を高めるために 用いるレンズ(光学系)の総称です。 代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、 ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。 プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも 用いられています。 【代表的なレンズ】 ■フライアイレンズ(フライアイインテグレータ) ■ロッドレンズ(ロッドインテグレータ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：夏目光学株式会社
- 価格：応相談
