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インラインキュア装置 - メーカー・企業と製品の一覧

インラインキュア装置の製品一覧

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インラインキュア装置『SC3305』

多様な温度プロファイルに対応!気流制御でワークの酸化・汚染を抑制します

『SC3305』は、前設備から直接基板を受け取り、キュア後マガジンへ 収納まで全自動で行うインラインキュア装置です。 8品種自動切替え機能を標準装備。 1基板上3点計測における温度分布を±5℃以内に治めます。 マガジンアンローダーは、空マガジンストック、満杯マガジンストックとも 306mmの有効スペースを確保(標準仕様)しました。 【特長】 ■8品種自動切り替え機能 ■気流制御でワークの酸化・汚染を抑制 ■多様な温度プロファイルに対応(8ゾーン個別温度制御方式) ■様々なるタイプのダイボンダと、フレキシブルにインターフェース  (オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置

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