ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)
300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基板にも対応。先端電子デバイス量産用熱処理装置
真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。300mmウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立
- 企業:神港精機株式会社 東京支店
- 価格:応相談
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300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基板にも対応。先端電子デバイス量産用熱処理装置
真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。300mmウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立
キュア装置
キュア装置とは、ダイボンド後のリードフレームをステップ送りしながら上下両面から過熱し、同時にN2ホットガスでパージするクリーンキュア装置です。 この設備はダイボンダからリードフレームを直接受け取りキュア炉部への送り込みから、マガジンへの収納とマガジンの排出までの一連の動作を全自動で行う設備です。
多様な温度プロファイルに対応!気流制御でワークの酸化・汚染を抑制します
『SC3305』は、前設備から直接基板を受け取り、キュア後マガジンへ 収納まで全自動で行うインラインキュア装置です。 8品種自動切替え機能を標準装備。 1基板上3点計測における温度分布を±5℃以内に治めます。 マガジンアンローダーは、空マガジンストック、満杯マガジンストックとも 306mmの有効スペースを確保(標準仕様)しました。 【特長】 ■8品種自動切り替え機能 ■気流制御でワークの酸化・汚染を抑制 ■多様な温度プロファイルに対応(8ゾーン個別温度制御方式) ■様々なるタイプのダイボンダと、フレキシブルにインターフェース (オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
強力紫外線発生装置の技術と、写真製版技術を応用したユニキュアシステム
強力紫外線発生装置の技術と、写真製版技術を応用したユニキュアシステムは、シール・ラベル印刷、ビジネスフォーム印刷などの印刷分野で活躍しているほか、プリント基板、電子部品の接着、表面保護フィルムの乾燥にいたる、多方面で使用されています。