高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置！
量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結 完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回転域での薬液裏面回り込み防止機構 ・液ミスト、剥離メタルの再付着防止機構 ・効率的なジェット剥離と液ミスト、剥離メタル飛散防止機構 ・効率的なメタル回収機構 ※試作用『TWPmシリーズ』もございます。 https://www.ipros.jp/product/detail/2000745626 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
