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半導体製造装置のウェハキャリアに耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れたPEEK450Gが採用されました。
■PEEKの溶接・溶着加工により、規格サイズ外の複雑な製品の加工を実現しました■PEEK樹脂は他の樹脂に比べると高価なため、大きな素材からの削り出しでは無駄になる部分が多くコスト的に合いません。切削加工による大きな材料ロスが考えられる形状への対応や切削加工のみでは対応できない様々な形状が加工可能なためPEEKが採用されました。
ＰＴＦＥ製のウェハキャリア。設計から組み立てまでの単品からの特注品対応。
市販品では対応できない特注サイズのＰＴＦＥ製ウェハキャリアを設計から組み立てまで行います。ＰＴＦＥは自社で成形。単品からの製造にも対応。ＰＴＦＥ製ですので耐熱温度260℃、耐薬品性も抜群です。
薄型ウエハ対応の特注キャリア（ウエハカセット）を小数ロットから承ります。
金属加工により、樹脂成形で不可能な形状も対応可能です。 ウエハサイズを教えて頂ければ、設計～製作まで、全ての工程を自社で承ります。 御客様のニーズにより、小ロット対応も可能です。
