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卓上タイプでコンパクト！既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる装置をご紹介
当製品は、既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる卓上タイプの コンパクトな装置です。 顕微鏡のステージにウェハを供給、回収。 ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで自動的に 行われます。 もし、顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携させることも できます。 【特長】 ■5・6インチウェハ対応 ■既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる ■顕微鏡のステージにウェハを供給、回収する装置 ■ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで 自動的に行う ■顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹介
当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を 追加できる装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。 2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。 また、測定機システムを上位として、連携させることが可能です。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を追加できる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能 ■2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできる ■測定機システムを上位として、連携させることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
