ウェハ洗浄(金属) - 企業1社の製品一覧

特殊ウェハの洗浄（再生）

付着物除去・金属不純物低減！ご使用の用途に応じた洗浄をご提案

当社では、特殊ウェハの洗浄（再生）を行なっております。 ザグリ形状などの「治具ウェハ」とアルミナ、石英、SiC、AlNなどの 「特殊材料ウェハ」が対象となります。 ご使用の用途に応じた洗浄をご提案します。その他、各種ウェハの 洗浄についてもご相談ください。 【概要】 ■対象 　・治具ウェハ：ザグリ形状など（材質 Si） 　・特殊材料ウェハ：アルミナ、石英、SiC、AlN他 ■対応サイズ：12インチ ■洗浄内容 　・付着物除去（メタル膜、有機物） 　・金属不純物低減（5×E10～1×E12 atoms/cm2台） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 企業：株式会社新菱 電子加工品部
• 価格：応相談

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