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デバイスウェーハのCMPプロセスにおける業界標準品
当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを 取り扱っております。 特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな 構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、 優れた加工均一性を発揮します。 また、高い段差緩和性能と低スクラッチ性能も実現します。 【ラインアップ】 ■各種基板の高平坦化に好適 ・IC1000(TM)単層パッド ■酸化膜CMPやメタルCMPに好適 ・IC1000(TM) SUBA(TM)積層パッド ・IC1400(TM)積層パッド ■VISIONPAD(TM) IC1000(TM)の次世代品 ・VISIONPAD(TM) 6000N積層パッド ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
スラリーを選ばない高性能研磨パッドです
エポキシパッド、エポキシウレタンパッドはスラリーの保持力が高く、また各種のスラリーとのマッチングが良い研磨パッドです。
他素材との接着性も良好。クッション材としてベルトや金属への取りつけも可能です
『ウレタンパッド TRタイプ』は、機械的性質、化学的性質、クッション性、 加工性等にすぐれている、発泡倍率2～5倍のマイクロセルラーポリウレタン フォーム(熱可塑性エステル系ウレタン)です。 そのすぐれた特性と適切な硬度選択により、広範囲な用途にご使用いただけます。 また、食品衛生法に基づく規格試験に合格し、食品用途にも安心してご使用 いただけます。ご購入のご相談・資料のご請求・ご質問やお問い合わせなど、 お気軽にご連絡ください。 【特長】 ■軽量 ■機械的強度、耐久性にすぐれている ■弾性回復(クッション性)にすぐれている ■無毒無臭で衛生的 ■耐油、耐薬品、耐摩耗性にすぐれている など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
