エアプレスユニット
試料治具の荷重をエア圧で調整するエアプレスユニット
●研磨時治具の自転は仕上がりの均一化に大きく影響するので外部から強制的に治具の自転をさせます。また、回転速度可変、回転方向選択可能(強制駆動方式ユニットFAR-200) 治具の強制回転と同時に定盤面に平行に揺動させ、仕上がり面の均一化と定盤の平面劣化を抑える(強制駆動・揺動式ユニット)
- 企業:株式会社ナノファクター
- 価格:応相談
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試料治具の荷重をエア圧で調整するエアプレスユニット
●研磨時治具の自転は仕上がりの均一化に大きく影響するので外部から強制的に治具の自転をさせます。また、回転速度可変、回転方向選択可能(強制駆動方式ユニットFAR-200) 治具の強制回転と同時に定盤面に平行に揺動させ、仕上がり面の均一化と定盤の平面劣化を抑える(強制駆動・揺動式ユニット)