エキシマレーザ(加工) - 企業2社の製品一覧

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加工用エキシマレーザ【G300K】

KrFエキシマレーザを使用した次世代パッケージ基板への微細加工技術をご提案します！

『G300K』は当社が半導体リソグラフィ用KrFエキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結した加工用エキシマレーザ光源です。半導体後工程において、小さいビア（10μm）が必要な基板への加工やトレンチ加工が可能となっており、今後の先端基板への活用が期待できます。【加工可能材料の一例】層間絶縁材料/ソルダーレジストほか

企業：ギガフォトン株式会社
価格：応相談

その他半導体製造装置

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当社で取り扱う『エキシマレーザ』の高エネルギーUVパルスをマイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、理科学研究、メディカル、薄膜加工にご活用いただけます。試作品から大量生産まで、適切な出力レベルに対応。均一な大面積のフラットトップビームでサンプル表面を覆います。また、低温薄膜加工により、レーザエネルギーを選択的に照射できます。【特長】 ■大型フィールドサイズの加工 ■調整可能なUV出力 ■低温薄膜加工で、レーザエネルギーを選択的に照射可能 ■50年にわたるエキシマレーザの経験 ■幅広いレーザ出力とエネルギーの選択肢をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。