シリコンウェーハエッジポリッシャー 【日本製】
省スペース&ハイスループットをコンセプトに開発された新しいシリコンウェーハ端面研磨装置です
●ウェハーを選ばず高スループット研磨が可能 ●加工面精度を向上 ●ケミカルフリーの研磨が可能 ●各種膜の除去が可能 ●ウェハー製造の各工程へ導入が可能
- 企業:アイエムティー株式会社
- 価格:応相談
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省スペース&ハイスループットをコンセプトに開発された新しいシリコンウェーハ端面研磨装置です
●ウェハーを選ばず高スループット研磨が可能 ●加工面精度を向上 ●ケミカルフリーの研磨が可能 ●各種膜の除去が可能 ●ウェハー製造の各工程へ導入が可能