省スペース＆ハイスループットをコンセプトに開発された新しいシリコンウェーハ端面研磨装置です
●ウェハーを選ばず高スループット研磨が可能 ●加工面精度を向上 ●ケミカルフリーの研磨が可能 ●各種膜の除去が可能 ●ウェハー製造の各工程へ導入が可能
![poli_photo01[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/c3e/2000126285/IPROS32036122745567517176.jpeg?w=280&h=280)
この製品へのお問い合わせ
基本情報
ウェハー製造工程において、スループット向上面精度UPを可能にしたシリコンウェーハエッジポリッシャーは、世界的に導入されています。 6インチ、8インチ、12インチウェハー対応のシリコンウェーハエッジポリッシャーは精密研磨テープを使用し、弊社の特許技術により常に新しい砥粒面で研磨できることで安定したの研磨力が得られます。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください
納期
※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
シリコンウェハーエッジポリッシャーは様々な用途に活用できます。 シリコンウェハーの各製造工程（べべリング後、エッチング後、CVD膜除去）に活用されています。また、リクレイム用途や各種メタル膜の除去にも有効です。
企業情報
当社は設立以降半導体、液晶の業界で精密研磨メーカーとして技術、ノウハウを蓄積して参りました。 そのノウハウを生かし、 金属の精密研磨はもちろんのこと半導体ウェーハ研磨や化合物半導体研磨、半導体、液晶パネル、シャフト研磨、試料研磨等の業界に精密研磨装置を供給しております。 日本製だからこそ和歌山県製だからこその痒いところに手が届く仕様 設計・電気・資材・製作・営業全てを自社で行うからこそ特注仕様にも柔軟に対応しております。 また制御部門では自社装置に限らず、お客様既設装置のメンテナンスや設備改修、PLCリプレースなど、装置開発で培った技術を提供します。自社設計の装置メーカー/分野にとらわれることなくお客様第一主義をモットーに精進しております。 研磨で困ったらまずIMTにお声がけください。
