技術紹介「ウェーハ精密加工プロセスのご提案」
研磨加工技術や平面研磨技術、エッジポリッシングなどを紹介します。
スピードファムは、独創的な技術とノウハウでハードとソフト両面から「装置」と「消耗副資材」を開発してお客様の様々なニーズにお応えし、最適な加工プロセスを提案してまいります。 ウェーハエッジとノッチの鏡面加工を行うエッジポリッシングは、半導体製造工程に不可欠な加工技術です。 エッジとノッチ部の鏡面研磨はパーティクルの発生を防ぎ、デバイス工程での表面清浄度を大きく向上させます。 【技術紹介】 ○研磨加工技術 ○平面研磨技術 ○エッジポリッシング(端面研磨) 他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：スピードファム株式会社
- 価格：応相談
