ウエハエッジ検査機 WEG3000
トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！
300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。 エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
エッジ検査装置 - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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ウエハエッジ検査機
計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！
ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
ウェーハエッジ検査装置『EdgeScan G6』
レーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を駆使したウェーハエッジ検査装置
『EdgeScan G6』は、従来機種にBSI-CISプロセス、TSVプロセスに対応 した新機構を追加搭載したウェーハエッジ検査装置です。 貼り合わせウェーハとトリミング、シニング等のプロセスに関わるエッジ 近傍領域のあらゆる形状・寸法測定と欠陥検査をカバー。 独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を駆使し、デバイス プロセスの安定化を強力にサポートします。 【特長】 ■裏面吸着搬送・測定 ■レーザ・ラインセンサー画像測定 ■Metric Based Binning(ADC機能) ■カラーレビュー機能 ■Phaseカメラによる多層膜境界測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
- 価格：応相談
【Industry4.0商材】製造業向けのエッジAI検査装置
Industry 4.0 (AI) 製造業に特化したAI外観検査ソリューション！
<AI外観検査ソリューション> ・エッジコンピューター搭載にて、高速AI分析可能。 ・製造業向けの様々な業界の外観検査対応。 ・技術に強みがあるベンチャー企業製品により、競合社より安い価格の導入可能。 ・顧客様のご要望に合わせ、カスタム対応可能
- 企業：イツワ商事株式会社 大阪本社
- 価格：応相談
