プラズマエミッションモニター『EMICONシリーズ』
遷移領域での高速成膜が可能！発光状態を、リアルタイムに、連続してモニターし記録
『EMICONシリーズ』は、遷移領域での高速成膜を実現した プラズマエミッションモニターです。 高分解能による測定とコントロールのほか、ノイズを差引いた正確な測定と コントロールが可能。 発光状態を、リアルタイムに、連続してモニターし記録するプラズマ発光の リアルモニターを搭載し、Lineのintegral（積分）測定によるプロセスの PIDコントロール/1000チャンネル以上の納入実績があります。 【特長】 ■遷移領域での高速成膜 ■高分解能による測定とコントロール ■ノイズを差引いた正確な測定とコントロール ■プラズマ発光のリアルモニター ■発光の同定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社フォーユー
- 価格：応相談
