エミッション顕微鏡×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

[EMS]エミッション顕微鏡法

故障箇所を迅速に特定

EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。 ・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能 ・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

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