![[EMS]エミッション顕微鏡法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/ebd/387108012/IPROS78188100613521420358.jpeg?w=280&h=280)
[EMS]エミッション顕微鏡法
故障箇所を迅速に特定
EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。 ・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能 ・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
エミッション顕微鏡 - メーカー・企業と製品の一覧
エミッション顕微鏡の製品一覧
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浜松ホトニクス PHEMOS-X
多波長レーザ搭載により、可視光から近赤外光まで一台で対応可能です。
PHEMOS-Xは半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障箇所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。 1. 超高感度カメラを2台搭載可能 2. OBIRCH、DALS、EOP、レーザマーカ用の光源を最大7個まで搭載可能。 3. 様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載
- 企業：東機通商株式会社
- 価格：1億円 ~
【分析事例】バイポーラトランジスタ（IGBT）の不良品調査
高電圧電源を用いたエミッション顕微鏡による故障箇所の特定
発光像とIR像の重ね合わせにより、リーク箇所を顕微的視野で特定できます。クラックや静電破壊など大規模な外観異常がある場合は、IR顕微鏡でも異常を確認可能です。また、エミッタ電極の遮光により、発光が検出できない場合には、コレクタ電極を除去し、コレクタ側から近赤外光を検出します。 2000Vまで印加可能な高電圧電源を用い、高耐圧で低リーク電流のパワーデバイスを動作させ、エミッション顕微鏡で故障箇所を特定する例を紹介します。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
