真空用オゾン供給器・除害器の製造販売
電子ビーム描画・検査・SEM装置で描画・観察しながらコンタミ付着を防止・クリーン化します
PARAMでは『真空用オゾン供給器・除害器』の製造販売を行っております。 「供給器」は、微量オゾンを真空中に精度よく導入可能。 クリーニングのために装置を停止する必要がありません。 また「除害器」は、小型、高コンダクタンスで、パーティクル発生の少ない 製品となっております。 そのほか詳細につきましては、お問い合わせください。 【特長】 ＜EB装置用オゾンガス供給機＞ ■パーティクルが発生せず、窒素フリーで高濃度オゾンが生成できる ■微量のオゾンガスを精度よく装置に導入できる ■クリーニングのために装置を止める必要がない ■低ノイズで、EB装置の近くに設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社PARAM
- 価格：応相談
