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オゾン発生装置×株式会社石森製作所 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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オゾン発生装置『スタンダードタイプ(QOシリーズ)』

半導体、一般産業向け等、ご要望に合った装置をご提案致します

『スタンダードタイプ(QOシリーズ)』は、半導体製造向けの オゾン発生装置です。 オゾン発生部は石英2重管を使用。 外部オゾン濃度信号により、オゾン濃度を制御します。 ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■応答特性が迅速 ■長寿命 ■高信頼性 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

  • オゾン発生装置

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