FA装置用Z軸ミリオンガイド『ZGシリーズ』
FA装置用Z軸多面形ガイド 半導体製造装置位置決め機構
『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイドです。 低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。 ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して 省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。 【特徴】 ■ころがり抵抗を極限まで低減 ■ガイド単軸での使用ができ、装置の小型化が可能 ■組立もカンタン。部材数も抑えてコストダウン ■X・Y繰り返し精度は0.5μｍ以下を実現 ■フルカスタマイズ可能！ブシュ・ポストの特殊形状に対応 ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイセルグループ株式会社
- 価格：応相談
