FA装置用Z軸多面形ガイド 半導体製造装置位置決め機構
『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイドです。 低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。 ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して 省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。 【特徴】 ■ころがり抵抗を極限まで低減 ■ガイド単軸での使用ができ、装置の小型化が可能 ■組立もカンタン。部材数も抑えてコストダウン ■X・Y繰り返し精度は0.5μｍ以下を実現 ■フルカスタマイズ可能！ブシュ・ポストの特殊形状に対応 ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ミリオンガイドの特徴】 ■高剛性 “点接触から線接触へ”高精度な幅広ローラ採用により、 従来のボールタイプに比べ10倍以上※の高剛性を実現しました。 ※当社調べ 一般的なボール循環式スプライン軸との比較です。 一般的な金型用ボールリテーナ式ガイドポストと比較した場合、差は２倍程度となります。 ■高精度 高剛性、低振動を実現したミリオンガイドは優れた直進性を持ち、 特に繰り返し精度はボールタイプと比べ３倍以上の精度を実現しました。 ■低振動 高精度な幅広ローラ採用により、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより、超低振動でスムーズなころがりを実現しました。
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企業情報
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。