ピエゾエレクトリックガスドーザー
UHV環境下で極微量ガスの導入が可能。 英国オックスフォードアルライドリサーチ社製、ナノサイエンス・表面科学の方は必見☆
UHVの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、ピエゾ素子を用いて制御します。
- 企業:三和真空株式会社
- 価格:応相談
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UHV環境下で極微量ガスの導入が可能。 英国オックスフォードアルライドリサーチ社製、ナノサイエンス・表面科学の方は必見☆
UHVの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、ピエゾ素子を用いて制御します。