室温型ガス精製器『Point-of-Use-Purifiers』
さまざまな流量に対応し、ガス供給システムの最高レベルの純度を維持します
『Point-of-Use-Purifiers』は、プロセスガス中の不純物レベルを 100PPT以下にする必要がある超高純度のアプリケーション向けに設計された 室温型ガス精製器です。 熱を加えることなく不純物を除去。 Novaシリーズ・インライン精製装置はヒーター、温度表示、 および制御が組み込まれています。 また、ProPanelシリーズ精製装置は高度な自動制御を提供します。 【特長】 ■0.3から20slpmの公称流量 ■4.5から300slpmの最大流量 ■316Lステンレス鋼構造 ■一体型Perticle filter内蔵 ■簡単な設置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：アップ・テック・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
