さまざまな流量に対応し、ガス供給システムの最高レベルの純度を維持します
『Point-of-Use-Purifiers』は、プロセスガス中の不純物レベルを 100PPT以下にする必要がある超高純度のアプリケーション向けに設計された 室温型ガス精製器です。 熱を加えることなく不純物を除去。 Novaシリーズ・インライン精製装置はヒーター、温度表示、 および制御が組み込まれています。 また、ProPanelシリーズ精製装置は高度な自動制御を提供します。 【特長】 ■0.3から20slpmの公称流量 ■4.5から300slpmの最大流量 ■316Lステンレス鋼構造 ■一体型Perticle filter内蔵 ■簡単な設置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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【オプション】 ■入口/出口フィッティング ■入口/出口バルブ ■0.003μパーテクルフィルタ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア、サエス・ゲッターズ・グループのサエス・ピュア・ガス社の製品を中心に、 ハイテク技術に欠かせない超高純度ガス精製装置とPoint-of -Useガスフィルター、有機EL材、ゲッター剤等材料関連の輸入・販売を行っています。 生産ラインはもちろん、試験・研究に対応したカスタマイズ、小ロット受注など、専門知識を持つ技術営業がクライアントのニーズにきめ細やかに対応いたします。