プロキシミティ露光とは？
汚れや傷がつきにくい！レジストに紫外線を照射し、パターンを形成
プロキシミティ露光とは、半導体や液晶などの製造に使われる技術の一つです。 レジスト(光感性樹脂)に紫外線を照射し、パターンを形成します。 その際、レジストとフォトマスク(パターンを形成するための板)の 間に微小な隙間を設け、レジストに光を届けることで、細かなパターンを 形成します。 【メリット】 ■マスクとワークが接触しないため汚れや傷がつきにくい ■フォトリソグラフィーと比較してパターン形成に必要な時間が短くて 済むため生産性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：夏目光学株式会社
- 価格：応相談
