ウォーターベーパークライオポンプ
ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
- 企業：株式会社アイ・アール・システム
- 価格：応相談
