タニムラ ウエハー用クリーン無塵合紙・挿間紙MK-WSF/WSE
クリーンルーム対応 ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙
ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます 一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。 ウエハーの合紙（挿間紙）を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。 表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの２種類から選択できます。 「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。 本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー（無塵紙）を使用しています。 それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック（クリーンパック）を行っています。 「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。
- 企業：タニムラ株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
