クリーンルーム対応 ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙
ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます 一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。 ウエハーの合紙（挿間紙）を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。 表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの２種類から選択できます。 「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。 本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー（無塵紙）を使用しています。 それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック（クリーンパック）を行っています。 「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。
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基本情報
■クリーンペーパー（無塵紙）を加工した製品です。 ■クリーンルームにて加工後真空パックしています。 ■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。 ■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。 ■表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの２種類。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
~ 1ヶ月
※受注後に製作いたします。
用途／実績例
●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。 ●クリーンルーム内で使用する合紙（挿間紙）として。 ●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上します。 ●導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。
カタログ（3）
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タニムラ クリーンルーム用導電性ウエハー用クッション TN-CWC
タニムラ クリーン導電性ウエハー用ケース/樹脂容器 MK-WBR
タニムラ ウエハー用クリーン合紙（クリーンパック品）MK-WSF/WSE
企業情報
最新技術を駆使して製品の開発を行う商社です。 クリーンルーム用品や静電気帯電防止用品など高品質な製品をご提供いたします。 また安全用品では、フォークリフトやダンプの滑り止め塗料もご提供いたしております。